監控測濺射靶材涂鍍層等的均勻性、密度分布
靶材表面電導率值與濺射靶材成品的均勻性、密度分布密切相關。均勻性差、氧化過度、密度不一都會導致電導率值產生浮動。
美國康寧公司是材料研究的領導企業,對采購的靶材有嚴格的質量把關??祵幫ㄟ^使用我司的Sigma2008B型數字渦流電導率儀,在不破壞材料的情況下準確得檢測出靶材的均勻性,解決了靶材質量無損檢測的問題。
國內有多家專業靶材的制造商,一直苦惱于靶材質量的無損檢測,在使用我司的Sigma2008B型數字渦流電導率儀對靶材的橫向與圓周方向的電導率值進行監測,針對性的改善工藝后,成功的提升了靶材的質量。